扩散工艺研发专家/主任工程师-TD Diff Process Expert/Staff Engineer at

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About The Role

1.工艺实验设计与优化：主导扩散工艺（氧化、退火、掺杂等）的实验设计（DOE），优化温度、时间、气体流量等关键参数，提升工艺均匀性与器件电学性能，解决掺杂浓度偏移与颗粒污染问题；
2.新型工艺模块开发：主导新型扩散工艺模块的预研与开发，对标制程节点需求评估工艺窗口，推动新工艺从实验验证到量产转移的完整闭环；
3.缺陷根因分析与改进：主导扩散工艺相关缺陷（氧化层质量偏移、掺杂不均、颗粒污染等）的根因分析，制定并实施工艺改进措施，闭环解决研发及量产中的关键问题；
4.跨团队协同优化：拉通整合、量测与器件团队，建立扩散工艺参数与器件电性能的关联模型，为器件设计与工艺窗口优化提供数据支撑；
5.技术规范与团队建设：制定扩散工艺规范与控制标准，撰写技术文档与专利，主导团队工艺能力建设与经验沉淀。
1.教育背景与专业知识：硕士及以上学历，材料科学/化学工程/物理/微电子等理工科专业，具备扩散机理、掺杂动力学及半导体器件物理的专业知识；
2.专业技能与资格：能独立设计并执行DOE实验，使用扩散炉管等设备完成工艺调试，运用JMP或Python完成实验数据分析与工艺参数建模；
3.行业与专业经验：具备8年以上半导体扩散工艺研发经验，有完整节点工艺开发和量产转移的成功案例者优先；
4.项目/任务成果：主导过至少2个扩散工艺开发或优化专项，成功解决关键厚度均匀性、掺杂浓度偏差或颗粒缺陷问题，形成标准化工艺文档并成功应用；
5.其他要求：具有创新思维与复杂技术攻坚韧性，具备跨团队协作与项目管理能力，能在多任务并行中保持严谨高效。
引用