Serviceengineer Halbleiterfertigung – Schwerpunkt Lithographie (m/w/d)

Ihre Aufgaben – abwechslungsreich und verantwortungsvoll

Sie arbeiten im Bereich Maintenance und Equipment Service und sorgen für den stabilen Betrieb unserer Halbleiterfertigung – insbesondere im Bereich Lithographie. Zusätzlich übernehmen Sie allgemeine FAB‑übergreifende Tätigkeiten.

Equipment & Maintenance

• Analyse und Behebung komplexer Störungen an Lithographie‑Anlagen
• Systematische Ursachenanalysen (Root Cause Analysis) bei wiederkehrenden Fehlern
• Mitarbeit bei der Optimierung von Preventive‑Maintenance‑Strategien
• Unterstützung bei Umbauten, Upgrades und Tool‑Abnahmen
• Bewertung von Equipment‑Zuständen und Stabilität

Weitere Fab‑Bereiche
Enge Zusammenarbeit mit anderen Technologie-Bereichen in der Produktion und technisches Verständnis für folgende Prozesse:

• Diffusion (Temperatur‑ und Prozessstabilität)
• Nasschemie (Chemische Prozesse, Sicherheit, Kontamination)
• Bedampfen/Metallisierung (Vakuum, Strom, Schichtqualität)
• Passivierung (Materialverhalten, Zuverlässigkeit)

Allgemeine Tätigkeiten in der FAB

• Unterstützung und Grundinstandhaltung an weiteren Anlagen und Modulen
• Nasschemiebereich (Bäder, Spülsysteme)
• Durchführung von einfachen Wartungs- und Kontrollarbeiten an verschiedenen Prozessanlagen
• Austausch von Verschleißteilen nach Anweisung
• Unterstützung bei Anlagenstillständen, Umbauten und Wiederanläufen
• Überwachung von Anlagenzuständen während der Schicht
• Dokumentation der durchgeführten Arbeiten im Wartungssystem
• Einhaltung von Sicherheits-, Reinraum- und Chemikalienvorschriften

Alleinverantwortung

• Bereitschaftsdienst
• Fähigkeit, im gesamten FAB grundlegende Tätigkeiten selbstständig durchzuführen
• Sicherstellung des Anlagenbetriebs bis zur Übergabe an die Frühschicht
• Meldung und Eskalation bei größeren Störungen

Ihr Profil – das bringen Sie mit

• Abgeschlossene höhere technische Ausbildung , z. B.:
• HTL-Mechatronik/Elektrotechnik/Maschinenbau
• FH‑Studium (abgeschlossen oder praxisnah)
• Mehrjährige Erfahrung in
• Halbleiterfertigung oder
• hochautomatisierten Produktions- oder Sonderanlagen
• Idealerweise Erfahrung mit Lithographie oder vergleichbar komplexem Equipment
• Sehr gutes systemisches Verständnis (Mechanik, Elektrik, Regelung, Software)
• Strukturierte Störungs- und Fehleranalyse
• Analytisches Denken bei komplexen Zusammenhängen
• Sicherer Umgang mit technischen Dokumentationen
• Verständnis für Prozess- und Qualitätsauswirkungen von Equipment Abweichungen
• Hohes Sicherheits- und Qualitätsbewusstsein (Reinraum, ESD, HV, Chemie)
• Technische Tiefe und Problemlösungskompetenz
• Eigenständige, strukturierte Arbeitsweise
• Team‑ und Schnittstellenfähigkeit
• Zuverlässigkeit und Verantwortungsbewusstsein
• Interesse an langfristiger fachlicher Weiterentwicklung
• Bereitschaft zu Rufbereitschaft während des Schichtbetriebes
• Gute Deutschkenntnisse, Englisch von Vorteil