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OPC验证工程师-OPC Verification Engineer(J20420)
ChangXin Memory (CXMT) · 安徽省·合肥市
About The Role
- 1.图形分析与筛选: 主导Pattern Select、Pattern Match、Pattern Grouping工作,从Layout设计或OPC LMC热点出发,提取并归类关键图形,支撑工艺窗口的定向优化;
- 2.数据采集与量测分析: 统筹Wafer Image数据采集,利用SEM、EP5、KLA BFI/EBI等工具进行图形量测,统计CDU及热点缺陷误差(含ADI/AEI/ASI阶段),输出量测报告;
- 3.热点与硬缺陷识别: 主导Die-to-DB对比、热点识别、Contour抽取及Image分析,利用BFI Image分析叠层缺失(Missing)、额外物(Extra)等硬缺陷,闭环定位问题并反馈至OPC Layer Sponsor;
- 4.版图与工艺协同验证: 联动PIE及YE团队,从OPC或工艺缺陷出发,增补2D量测,评估图形对CIP的影响,为Mask修正提供数据驱动建议;
- 5.验证流程迭代: 基于验证结果梳理工艺弱项,推动检测方法论的优化与标准化,提升Pattern层面自检与闭环能力。
- 1.教育背景与专业知识:硕士及以上学历,微电子/物理/材料/集成电路等理工类专业,具备半导体光刻与OPC基础原理知识;
- 2.专业技能与资格:能使用KLA BFI/EBI、SEM、EP5等量测工具独立完成Recipe建立及数据分析,具备Image分析及Contour处理软件的操作能力;
- 3.行业与专业经验:具备3年以上半导体制造领域OPC验证或相关岗位经验,有图形筛选、CDU统计及热点缺陷分析的实际项目经历;
- 4.项目/任务成果:主导过至少2个Pattern层面CIP验证项目,成功识别并闭环工艺热点或硬缺陷问题,形成可复用的分析模板;
- 5.其他要求:具有跨团队协同与问题闭环能力,能主动对接OPC Layer Sponsor及PIE团队,推动验证结论快速转化为Mask或工艺优化方案。
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